如何使用掃描電鏡鍍膜儀觀察非導(dǎo)電材料？

更新時(shí)間：2024-04-19 | 點(diǎn)擊率：714

　　掃描電鏡鍍膜儀的設(shè)計(jì)特點(diǎn)是制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大，尤其針對(duì)不導(dǎo)電材料進(jìn)行鍍膜處理。掃描電鏡（SEM）是一種電子光學(xué)儀器，其工作原理主要是利用高能電子束在樣品上進(jìn)行掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信息，通過(guò)對(duì)這些信息的接收、放大和顯示成像，獲得測(cè)試樣品的表面形貌。在掃描電鏡的樣品制備過(guò)程中，對(duì)于非導(dǎo)電或?qū)щ娦暂^差的材料，通常需要在其表面鍍上一層導(dǎo)電薄膜，以便能夠有效地傳輸由電子束激發(fā)出的電荷，防止樣品充電，從而獲得更清晰的圖像。

　　掃描電鏡鍍膜儀的功能是用于在樣品表面鍍上一層金屬或其他導(dǎo)電材料的薄膜。

　　該設(shè)備具備多種功能特點(diǎn)，如離子濺射法鍍膜、脈沖式碳絲蒸發(fā)鍍膜以及冷凍干燥等。通過(guò)這些功能，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面微區(qū)形貌、結(jié)構(gòu)和組成的觀察與分析，具有高分辨率、良好的景深和操作簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。

　　1.要使用掃描電鏡觀察非導(dǎo)電材料，鍍膜是一個(gè)關(guān)鍵步驟。需要了解為什么非導(dǎo)電材料需要進(jìn)行鍍膜。掃描電鏡工作時(shí)，利用高能電子束掃描樣品，激發(fā)出二次電子等信號(hào)來(lái)獲取圖像。非導(dǎo)電樣品若不進(jìn)行鍍膜，會(huì)積累電荷，導(dǎo)致電子束無(wú)法穩(wěn)定，進(jìn)而影響成像質(zhì)量。

　　2.選擇合適的鍍膜材料也至關(guān)重要。例如，鎢、銥、鉻等材料粒度細(xì)，適合超高分辨率成像；而鉑、鈀、銀等則具有可逆性的優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)不同的需求和樣品特性選擇最合適的鍍膜材料是獲得高質(zhì)量圖像的關(guān)鍵。

　　3.在實(shí)際操作中，等離子濺射鍍膜是常用的方法之一。這種方法可以在非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠繁砻嫘纬梢粚訉?dǎo)電金屬薄膜，從而消除或降低荷電現(xiàn)象，增強(qiáng)圖像的對(duì)比度和清晰度。

掃描電鏡鍍膜儀

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